•提供1种腔体尺寸：450mm 
•提供最多4个3" 直径的DC/RF兼容圆形磁控溅射源 
•提供多坩埚电子束蒸发源 
•提供最多8个热蒸发源（可同时使用4个） 
•提供最多8个有机蒸发源，可全部同时使用 
•提供多种技术选项。示例：电子束+溅射、电子束+蒸发、磁控+蒸发 
•提供湿式或干式粗抽、涡轮泵或低温泵高真空泵选项 
•标准最大6"基板；提供400°C的加热、冷却和偏压选项 
•系统尺寸H1760mm*W920mm*L800mm