磁控溅射阴极
规格：2in圆形 3in圆形
挡板方式：气动
靶材规格：⏀52.4mm ⏀76.2mm
气路分布：可选
使用电源：DC/RF
磁场设计：强磁/标准
挡板方式：气动
靶材规格：⏀52.4mm ⏀76.2mm
气路分布：可选
使用电源：DC/RF
磁场设计：强磁/标准
磁控溅射阴极
磁控溅射阴极
规格：2in圆形 3in圆形
挡板方式：气动
靶材规格：⏀52.4mm ⏀76.2mm
气路分布：可选
使用电源：DC/RF
磁场设计：强磁/标准
挡板方式：气动
靶材规格：⏀52.4mm ⏀76.2mm
气路分布：可选
使用电源：DC/RF
磁场设计：强磁/标准
