电子束

真空度：5*10-2～ 5*10-5Pa 
电子束流变化率：±3% 
电子束偏转角：270° 
最大输出功率：10KW 
SY位置移动：±20mm 
X扫描频率：50Hz 
Y扫描频率：500Hz 
转速：0-20转/min 
加热温度：450℃ 
冷却温度：常温水冷 
发射电流：0～1000mA (10KV时) 稳定度±2% 
灯丝电压：8V 
高压输出：-6KV、-8KV、-10KV，可选输出电压，稳定度±2%，纹波小于±5%