样品台

功能： 旋转、加热、升降、水冷 
最大样品尺寸：6英寸 
法兰接口：ISO200/可定制 
产品名称：电子束蒸发 
真空度：5*10-2～ 5*10-5Pa 
电子束流变化率：±3% 
电子束偏转角：270° 
最大输出功率：10KW 
SY位置移动：±20mm 
X扫描频率：50Hz 
Y扫描频率：500Hz 
转速：0-20转/min 
加热温度：450℃ 
冷却温度：常温水冷